普发检漏仪

普发检漏仪适用于工业,分析研究,镀膜市场等。普发氦质谱检漏仪坚固耐用,抗破大气,抗震性能极强,尽可能降低因操作失误带来的风险性。可反复使用,且数年保证高精度的检漏漏率。该检漏仪设计适合串列生产和持续工作。

技术参数

最小可检漏率(真空模式)

5X10-13Pa.m³/s

最小可检漏率(吸枪模式)

5X10-10Pa.m³/s

检测气体

4He,3He,H2

启动时间

3min

对氦气的抽气速度

2.5L/S

进气口压力

25hPa

前级泵抽速

油泵15m³/h

关键字:

氦质谱检漏仪

检漏

模式

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