技术参数
最小 可检漏率 | 超精检模式 | 5×10-12mbar·L/s |
精检模式 | 1×10-11mbar·L/s | |
粗检模式 | 1×10-9mbar·L/s | |
吸枪模式 | 1×10-7mbar·L/s | |
反应时间 | <1sec | |
气体传感器 | 180°磁偏转质谱选择器 | |
启动时间 | <3min | |
电源电压/接口 | SPS-兼容(最大35V) | |
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最小 可检漏率 | 超精检模式 | 5×10-12mbar·L/s |
精检模式 | 1×10-11mbar·L/s | |
粗检模式 | 1×10-9mbar·L/s | |
吸枪模式 | 1×10-7mbar·L/s | |
反应时间 | <1sec | |
气体传感器 | 180°磁偏转质谱选择器 | |
启动时间 | <3min | |
电源电压/接口 | SPS-兼容(最大35V) | |
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