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目前在高真空中,电离规管是最被广泛应用的,而在超高真空领域中,电离规管甚至是唯一实际可行的真空规管。该规管设计紧凑,结构简单,功耗低,易除气,测量稳定可靠,量程宽。
关键词:
标准漏孔是指在特定的气压下产生精确的漏率,常用于校准气密性检测仪、流量测试仪或作为设备点检、精度确认等使用,专门为真空检漏及其校准工作而制造,能够在的规定条件下向真空系统内部提供已知气体流量的元件。